温度标定测试系统是专为 MEMS传感器设计的高精度自动化校准设备，通过集成温度控制、压力加载与智能数据采集功能，实现对 MEMS 温度传感器、压力传感器及复合型传感器的全量程标定。系统基于行业标准校准流程，支持多通道并行测试，可大幅提升传感器生产与研发阶段的校准效率，确保传感器在航空航天、汽车电子、医疗设备等场景中的测量精度与可靠性。
产品特点
高精度环境模拟：控温精度 ±0.1℃，支持线性升降温与恒温保持模式，压力控制精度 ±0.05% FS，支持静态压力、动态压力波动测试。
自动化标定流程：支持一键式全量程标定，自动生成校准曲线（如温度 – 电阻曲线、压力 – 电压曲线），且支持多通道并行测试。
智能数据管理与分析：实时采集传感器输出信号（电压、电流、数字量等），采样率高达 10kHz，支持温漂、迟滞、重复性等参数计算。
技术参数
| 序号 |
项目 |
参数 |
| 1 |
机台型号 |
KL-MEMS-CAL1800 |
| 2 |
测试温区 |
3温区 |
| 3 |
温度范围 |
-20℃~120℃（可定制） |
| 4 |
温度精度 |
≤±0.1℃ |
| 5 |
温度均匀性 |
≤ ±0.5℃ |
| 6 |
压力范围 |
绝压：10kPa~10MPa 表压：-100kPa~5MPa（可定制特殊量程） |
| 7 |
压力控制精度 |
±0.05% FS（静态 ±0.1% FS（动态波动） |
| 8 |
上下料方式 |
Tray盘 |
| 9 |
单Tray产品数 |
常规尺寸≥64ocs（根据芯片封装评估 ） |
| 10 |
标定方式 |
2T2P / 2T3P / 3T3P |
| 11 |
标定效率 |
Cycle time 120S / Tray |
| 12 |
信号采集类型 |
模拟量（0~10V、4~20mA）、数字量（SPI/I2C/UART） |
| 14 |
校准测试板 |
定制开发/ 客供 |
| 15 |
上位机软件 |
自研 MEMS-CAL 软件，支持图形化校准流程编辑、实时曲线显示、自定义报告模板 |
